Os primeiros Regierungsbezirke foram criados pelo Reino da Prússia em 1808/16, que dividiu suas províncias em 25 Regierungsbezirke. Os Regierungsbezirke da Renânia do Norte-Vestefália estão na continuação direta dos criados em 1815. Outros estados do Império Alemão criaram entidades similares, denominadas Kreishauptmannschaft (na Saxônia) ou Kreis (na Baviera e Württemberg) (não confundir com o Kreis ou Landkreis hoje). Durante o Terceiro Reich, o governo nazista unificou a nomenclatura; desde então todas estas entidades são chamadas Regierungsbezirk.
Em 1º de janeiro de 2000, o Rhineland-Palatinate dissolveu seus três Regierungsbezirke Koblenz, Rheinhessen-Pfalz e Trier - os funcionários e ativos das três Bezirksregierungen foram convertidos em três autoridades públicas responsáveis por todo o estado, cada uma cobrindo uma parte das responsabilidades anteriores da Bezirksregierung.
Em 1º de janeiro de 2004, a Saxônia-Anhalt desmantelou seus três Regierungsbezirke: Dessau, Halle e Magdeburg. As responsabilidades são agora cobertas por um Landesverwaltungsamt com três escritórios nas antigas sedes das Bezirksregierungen.
Em 1º de janeiro de 2005, a Baixa Saxônia dissolveu seus quatro Regierungsbezirke: Braunschweig, Hanover, Lüneburg, e Weser-Ems.
Em 2005, North Rhine-Westphalia planejava abolir seus cinco Regierungsbezirke e criar três entidades de autogestão. O antigo Regierungsbezirk, "estilo prussiano", não tinha órgãos de autogoverno.
