A espectrometria de massa de plasma acoplado indutivamente (ICP-MS) é um tipo de espectrometria de massa que é altamente sensível. Ela pode ver uma gama de metais e vários não metais em concentrações abaixo de uma parte em 1012 (parte por trilhão). Ela se baseia no engate de um plasma acoplado indutivamente como método de produção de íons (ionização) com um espectrômetro de massa como método de separação e detecção dos íons. Muitos químicos utilizam o árgon como gás portador para fazer o plasma. A máquina envia os íons de amostra através de uma série de pequenos cones. Os cones deixam os íons de plasma entrarem lentamente na câmara de vácuo do espectrômetro de massa.
Na análise de elementos vestigiais, o método tem vantagens de alta velocidade, precisão e sensibilidade em comparação com as técnicas de absorção atômica. A análise de concentrações mais baixas, ao mesmo tempo, é mais suscetível à interrupção por traços de contaminantes em artigos de laboratório e reagentes utilizados. Alguns analistas não podem trabalhar com ICP-MS. A verificação dos resultados das análises requer trabalho adicional.
A variedade de aplicações excede a do ICP-OES e inclui a especiação isotópica. Como a ICP-MS pode ajudar a fabricar bombas atômicas, o hardware da ICP-MS é um assunto para regulamentos especiais de exportação.